Thi?t b? kh? keo ??t - ?á v?i - Th?ch cao ??t

Có thể đàm phánCập nhật vào02/15

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

Thiết bị khử keo ướt bán dẫn của Shengmei được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng tẩy rửa hiệu quả và tiện lợi bằng keo quang (PR).

Chi tiết sản phẩm

Thiết bị khử keo ướt

Bộ khử khe - Một wafer ngâm thuốc lỏng được sử dụng trong một đơn vị khe chứa nhiều wafer cùng một lúc để tăng công suất.
Monolithic deglution cavity - phun dung dịch thuốc lên bề mặt wafer quay, kiểm soát độc lập hơn đối với mỗi quá trình wafer.

Lợi thế chính

Dễ sử dụng

Kiểm soát chất lỏng dược phẩm chính xác

Khe cắm đơn vị Pre-ngâm quá trình

Tái chế chất lỏng dược phẩm để giảm chi phí

Tối ưu hóa cấu hình bảo mật

Kết hợp với quy trình làm sạch wafer tiên tiến

Tính năng&Thông số kỹ thuật

Tương thích với 8 inch và 12 inch wafer

Được trang bị rãnh ngâm

Được trang bị khoang khử keo một mảnh, bao gồm:
a. Tối đa 5 loại dung dịch dược phẩm có thể được trang bị cho quá trình làm sạch hai mặt
b. Tối đa 2 loại dung dịch dược phẩm có thể được tái chế
Thiết bị vớt váng dầu mỡ cho xử lý nước thải -PetroXtractor - Well Oil Skimmer (
d. Tùy chọn với áp lực cao solvent/DIW phun rửa

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị