-
Thông tin E-mail
123@qq.com
-
Điện thoại
13112345679
- Địa chỉ
Danh mục sản phẩm
Công ty TNHH Thiết bị bán dẫn Shengmei (Thượng Hải)
Thiết bị mạ điện
Có thể đàm phánCập nhật vào02/15
- Mô hình
- Thiên nhiên của nhà sản xuất
- Nhà sản xuất
- Danh mục sản phẩm
- Nơi xuất xứ
Tổng quan
Thiết bị mạ tiên tiến bán dẫn Shengmei có thể được áp dụng cho các bước mạ quan trọng của gói tiên tiến đa kênh, bao gồm pillar, bump và RDL. Thiết bị mạ điện này cũng có thể được vận chuyển cho các quy trình fan-out, TSV (Through Silicon Via) và TMV (Through Molding Via).
Chi tiết sản phẩm
Thiết bị mạ điện
Lợi thế chính
Buồng mạ điện ngang, không ô nhiễm chéo
Có thể bảo trì một khoang, cải thiện thời gian hoạt động của thiết bị (up time)
Công nghệ niêm phong cao su, hiệu suất niêm phong tốt hơn
Công nghệ Anode thứ hai để kiểm soát tốt hơn sự đồng nhất
Điều khiển quy trình linh hoạt
Tính năng&Thông số kỹ thuật
兼容8寸和12寸
Tối đa 3 Load Port
Có thể phù hợp với tối đa 4 khoang ướt trước, điều khiển chân không
Lên đến 4 khoang làm sạch
Lên đến 20 khoang mạ điện: Cu, Sn/Ag, Ni
Kích thước thiết bị: 2050 x 5950 x 2650 mm
Hiệu suất quá trình:
Tính đồng nhất trong phim:<5% (- tối thiểu/trung bình 2)
Tính đồng nhất giữa các mảnh<3%
Độ lặp lại:<3%
COP: < 2,0 μm
