Bộ lọc khí Entegris

Có thể đàm phánCập nhật vào03/31

Mô hình

Thiên nhiên của nhà sản xuất: Nhà sản xuất

Danh mục sản phẩm

Nơi xuất xứ

Tư vấn trực tuyến

Tổng quan

WGFG01DSH là một bộ lọc điểm-of-use (điểm sử dụng đầu cuối) được thiết kế đặc biệt cho các hệ thống phân phối khí có độ tinh khiết cao. Nó chủ yếu được sử dụng để bảo vệ các thiết bị quá trình quan trọng ở hạ lưu, loại bỏ các chất gây ô nhiễm hạt trong khí và đảm bảo rằng khí quá trình đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về độ sạch.

Chi tiết sản phẩm

Bộ lọc khí Entegris WGFG01DSH

1. Tổng quan về sản phẩm
WGFG01DSH là một bộ lọc điểm-of-use (điểm sử dụng đầu cuối) được thiết kế đặc biệt cho các hệ thống phân phối khí có độ tinh khiết cao. Nó chủ yếu được sử dụng để bảo vệ các thiết bị quá trình quan trọng ở hạ lưu, loại bỏ các chất gây ô nhiễm hạt trong khí và đảm bảo rằng khí quá trình đáp ứng các yêu cầu nghiêm ngặt về độ sạch.

2. Thông số cốt lõi và thông số kỹ thuật

dự án	Thông số/Thông số kỹ thuật
Mã sản phẩm	Thông tin WGFG01DSH
Cấp phần tử lọc	Hộp mực thiêu kết kim loại thường được cấu hình là 0,003 micron (3 nanomet) hoặc cao hơn, tùy thuộc vào hậu tố mô hình đặt hàng.
Phương tiện lọc	Thép không gỉ thiêu kết sợi kim loại nỉ (như công nghệ Bekaert sợi nỉ của Entegris).
Vật liệu vỏ	316L thép không gỉ (sắt thấp, lưu huỳnh thấp).
Cách kết nối	VCR ® hoặc VCO ® Khớp nối kín mặt, thường có kích thước 1/4 inch hoặc 1/2 inch (cần được xác nhận theo thứ tự cụ thể).
Vật liệu niêm phong	Con dấu hoàn toàn bằng kim loại (không polymer) thường được sử dụng hoặc cao su florua tùy chọn đáp ứng các yêu cầu của quy trình bán dẫn (như Viton) ®/ FKM) Vòng đệm.
Áp lực thiết kế	Thiết kế áp suất cao, điển hình như 2000 psig (138 bar) hoặc cao hơn, xem bảng dữ liệu sản phẩm.
Nhiệt độ thiết kế	Có thể thích ứng với môi trường nướng nhiệt độ cao, phạm vi nhiệt độ hoạt động điển hình có thể đạt trên 150 ° C.
Xử lý bề mặt	Bên trong vỏ được xử lý bằng đánh bóng điện phân (EP) để giảm tỷ lệ hấp phụ và thoát khí hạt.
Tỷ lệ loại bỏ hạt	Đối với các hạt có kích thước hạt mục tiêu như ≥0,003 μm, hiệu quả loại bỏ thường ≥99,9999%.
Kiểm tra nhà máy	Mỗi bộ lọc được kiểm tra nghiêm ngặt về tính toàn vẹn của nhà máy (chẳng hạn như kiểm tra điểm bọt) và kiểm tra thách thức hạt và báo cáo chứng nhận (CoC) được cung cấp.
Lĩnh vực ứng dụng	Sản xuất chất bán dẫn, bảng hiển thị, quang điện, thanh tiền chế sợi quang và các liên kết công nghệ khác đòi hỏi khí có độ tinh khiết cực cao, thường được sử dụng trong in thạch bản, khắc, CVD、 Dây cung cấp khí cho các thiết bị như bơm ion.

3. Các tính năng chức năng chính
Hiệu quả bẫy cao: Áp dụng cơ chế tải sâu, có khả năng giữ lại các hạt nhỏ và nano.
Kết quả thấp và giải phóng khí thấp: Tất cả các cấu trúc kim loại và xử lý đánh bóng điện phân, kiểm soát hiệu quả kết tủa ion kim loại và giảm độ ẩm và khử khí.
Tính toàn vẹn cấu trúc cao: Phần tử lọc kim loại mạnh mẽ và vỏ bọc chịu được biến động áp suất hệ thống, tác động và nhiệt độ cao.
Khả năng tương thích rộng: Thích hợp cho tất cả các loại khí quá trình có độ tinh khiết cao, ăn mòn và trơ như N₂, H₂, O₂, Ar, He, SiH₄, HCl, Cl₂, WF ₆, v.v.

4. Ghi chú quan trọng

Các thông số kỹ thuật cụ thể (chẳng hạn như kích thước kết nối, mức lọc chính xác, xếp hạng áp suất) nên đượcQuy định sản phẩm cuối cùng (Datasheet) và báo cáo chứng nhận được xuất bản bởi EntegrisLàm chuẩn.

Sản phẩm tương tự Khuyến nghị