Bốn khoang HMDS chân không Lò vi tính đa trạm HMDS Lò nướng

Máy tính loại đa trạm HMDS lò Vai trò chính

Thiết bị sẽ xử lý trước lớp lót hexamethyldisilane (HMDS) một cách nhanh chóng, đồng nhất và hiệu quả về chi phí, do đó cải thiện độ bám dính của lớp lót với keo in.

Độ bám dính chất lượng cao là nền tảng của tất cả các bước tiếp theo của quá trình, chỉ có bề mặt được phủ đầy đủ mới có thể tái tạo chính xác lớp phụ micron của ruột thừa đồng tập trung, tránh các cạnh nổ, hoặc phụ và các vấn đề khác. Quá trình xử lý chân không nhanh chóng làm mất nước chất nền, cho phép liên kết tuyệt vời hình thành với lớp HMDS duy trì ổn định ngay cả sau nhiều tuần tiếp xúc với độ ẩm khí quyển.

Bốn khoang HMDS chân không Lò vi tính đa trạm HMDS Lò nướngĐặc điểm kỹ thuật

Tính đồng nhất của lắng đọng hóa học

Đồng nhất góc tiếp xúc tốt hơn

Xử lý bề mặt chống ẩm

Độ bám dính của Photoclate có thể tăng 3-5 lần

Tránh hình thành các lỗ rỗng (Void) và cải thiện chất lượng chuyển đồ họa

Tăng cường khả năng bám dính quang

Tiêu thụ Hexamethyldisilane (HMDS) thấp hơn

Các ngành công nghiệp áp dụng: MEMS, lọc, khuếch đại, công suất và các thiết bị khác, wafer, sapphire, thủy tinh, kim loại quý, SiC (Silicon Carbide), GaN (Gallium Nitride), ZnO (Zinc Oxide), GaO (Gallium Oxide), Gallium Arsenide, Lithium Niobite và, Indium Phosphate, Kim cương và các vật liệu bán dẫn thế hệ thứ ba khác.

Bốn khoang HMDS chân không Lò vi tính đa trạm HMDS Lò nướngHiệu suất

Khối lượng: 40L * 4, (1-12 inch sản phẩm và mảnh tương thích) có thể được tùy chỉnh

Ứng dụng vận hành: 4 trạm điều khiển độc lập

Phạm vi nhiệt độ: RT+20-200 ℃

真空度： ≤1 torr

Tự động hóa: điều khiển máy tính+điều khiển vị trí trên MES

Bơm chân không: Bơm chân không không dầu Scroll

Chức năng cảnh báo rò rỉ chất lỏng dược phẩm HMDS

Chức năng cảnh báo mức thấp HMDS

Chức năng ghi dữ liệu quá trình

Các tính năng như bảo vệ khóa chương trình