Ưu điểm chính là có thể trực tiếp đo bề mặt của một số bộ phận khó đo, chẳng hạn như độ nhám bề mặt của lỗ, rãnh, v.v., nhưng cũng có thể trực tiếp đọc theo một số loại tiêu chuẩn đánh giá hoặc mô tả hình dạng của đường cong bề mặt, và tốc độ đo nhanh, kết quả đáng tin cậy và dễ vận hành. Tuy nhiên, bề mặt được đo dễ bị trầy xước bởi kim cảm ứng, vì vậy áp suất đo nên được giảm thiểu dưới điều kiện đảm bảo tiếp xúc đáng tin cậy.
Hiệu suất sản phẩm được đề xuất:
Sử dụng động cơ tuyến tính tiên tiến trong ngành, dầu bôi trơn miễn phí và bảo trì dễ dàng;
Cảm biến độ nhám chính xác cao mới với phạm vi đo lớn (lên đến 1000 μm) độ phóng đại cao (lên đến 500.000 lần) và độ phân giải lên đến 0,1 nm;
Cảm biến đường viền sử dụng thước đo lưới giao thoa, phạm vi lớn (50mm) và độ phân giải lên đến 0,1μm.