Nguyên tắc làm việc của máy xúc tác quang oxy plasma:
Khi khí thải đi vào bên trong thiết bị làm sạch máy quang phân plasma, trước tiên thông qua quá trình phản ứng hóa học plasma, tức là điện tử đầu tiên thu được năng lượng từ điện trường, thông qua kích thích hoặc ion hóa để chuyển năng lượng vào phân tử hoặc nguyên tử, năng lượng thu được phân tử hoặc nguyên tử bị kích thích, đồng thời một số phân tử bị ion hóa, do đó trở thành nhóm hoạt động; Sau đó, các nhóm hoạt động này va chạm với các phân tử hoặc nguyên tử, giữa các nhóm hoạt động và các nhóm hoạt động tạo ra các sản phẩm ổn định và nhiệt. (Dưới tác động của điện trường cộng thêm, một lượng lớn các electron mang năng lượng được tạo ra bởi phóng điện môi trường bắn phá các phân tử ô nhiễm, ion hóa, phân ly và kích thích chúng, sau đó gây ra một loạt các phản ứng vật lý, hóa học phức tạp để chuyển đổi các chất ô nhiễm phân tử lớn phức tạp thành các chất an toàn phân tử nhỏ đơn giản hoặc các chất độc hại thành các chất không độc hại và vô hại hoặc độc hại thấp để loại bỏ các chất gây ô nhiễm.)
Sau đó, một phần khí thải hữu cơ sau đó phân hủy khí ô nhiễm thành khí không độc hại và không mùi bằng cách phá hủy, phân hủy và oxy hóa xúc tác. Sử dụng năng lượng cao C-band ánh sáng để phá vỡ mạnh mẽ các chuỗi phân tử khí ô nhiễm, thay đổi cấu trúc phân tử vật chất, cracking các chất ô nhiễm polymer, oxy hóa thành các chất vô hại phân tử thấp, chẳng hạn như nước và carbon dioxide, vv Chất oxy hóa xúc tác mạnh O3 thực hiện quá trình oxy hóa xúc tác khí thải, có thể tiêu diệt vi khuẩn một cách hiệu quả, phá hủy các chất độc hại và có hại và thay đổi thành các chất vô hại phân tử thấp. Trong C-band laser kích thích lớp phủ xúc tác để tạo ra hoạt động, tăng cường quá trình oxy hóa xúc tác. Trong quá trình phân hủy tạo ra chùm tia UV UV ozone cao năng lượng cao phân hủy các phân tử oxy trong không khí để tạo ra oxy tự do, tức là oxy phản ứng, do oxy tự do mang theo các electron dương và âm không cân bằng nên cần liên kết với các phân tử oxy, từ đó tạo ra ozone. UV+O2 → O-+O * (oxy phản ứng) O+O2 → O3 (ozone), ozone được biết là có tác dụng oxy hóa rất mạnh đối với các chất hữu cơ, có tác dụng làm sạch rất mạnh đối với khí hôi và các mùi khó chịu khác. O3 cũng là chất oxy hóa xúc tác mạnh để oxy hóa khí thải xúc tác oxy hóa, phá vỡ liên kết phân tử của vi khuẩn trong khí có mùi hôi, phá hủy axit nucleic (DNA) của vi khuẩn, sau đó thông qua phản ứng oxy hóa ozone, hoàn toàn đạt được mục đích khử mùi và khử trùng.