Giám sát ô nhiễm phân tử không khí AMC

Hoàn hảoGiám sát ô nhiễm phân tử không khí AMC

Theo dõi ô nhiễm phân tử không khí (AMC) trong thời gian thực là cực kỳ quan trọng đối với quá trình sản xuất chất bán dẫn.

Giám sát ô nhiễm phân tử không khí AMCGiám sát nhanh, báo động, đo nồng độ rất thấp, khu vực đo rộng, phản ứng nhạy cảm cao với nhiều khí, v.v. là một trong những yêu cầu của ngành công nghiệp bán dẫn. Quá trình in thạch bản UV sâu đặc biệt quan tâm đến các phép đo nồng độ amoniac, amin, N-methylpiridone NMP, axit, v.v. Khi các khí này phản ứng với phản ứng phản sinh của photoxet khuếch đại hóa học, nó sẽ ảnh hưởng sâu sắc đến chất lượng thiết bị bán dẫn.

Các phương pháp truyền thống cổ xưa thường sử dụng các phương pháp phân tích đo lường gián tiếp. Bao gồm bộ lọc bụi tác động, sắc ký ion, huỳnh quang hóa học, quá chậm để phân tích, quá trình vận hành quá phức tạp, tốn kém và các phép đo không chính xác.

CEAS (Cavity Enhanced Absorption Spectrum) --- Nguyên tắc

Sơ đồ thiết bị dựa trên công nghệ CEAS (Cavity Enhanced Absorption Spectrum), sử dụng ánh sáng dải hồng ngoại gần để đo độ nhạy cao hấp thụ, buồng đo bao gồm một nhóm các ống kính phản xạ nhiều lần có độ phản xạ cao, chùm tia laser đo được bước sóng laser tương đối khi đi qua bộ hiệu chuẩn trạng thái rắn (FSR=2,00GHz). Để đảm bảo độ rõ ràng, các chùm ánh sáng ban đầu chiếu ra ngoài gương của đơn vị đo bên trái bị bỏ qua.

Phiên bản nâng cao EP tích hợp cảm biến áp suất và bộ điều khiển nhiệt độ bên trong với buồng đo siêu ổn định, ngăn ngừa lỗi do trôi nhiệt độ, thay đổi áp suất, v.v.

CEAS (Cavity Augmented Absorption Spectrum) có nhiều ưu điểm đã được chứng minh so với công nghệ CRDS (Cavity Deposition Spectrum) thế hệ đầu tiên. Tóm lại, chùm tia laser không yêu cầu khớp nối cộng hưởng vào buồng đo (ví dụ, chùm tia không cần căn chỉnh chặt chẽ). Các thiết bị và hệ thống phân tích DUKE có các tính năng như cài đặt đơn giản bẩm sinh, cơ học chắc chắn và bảo vệ mạnh mẽ.